国内首套高精度圆度基准装置建成测量不确定度降至6nm-中国钟表协会

国内首套高精度圆度基准装置建成
测量不确定度降至6nm

发布时间：2026-07-15 作者：协会秘书处来源：中国钟表协会

中国钟表协会7月15日消息，据央视新闻报道显示，中国计量科学研究院自研的国内首套高精度圆度基准装置正式落地，我国高精度圆度测量技术迈入国际先进行列。

圆度是精密制造核心几何参数，长期我国缺少国家级圆度量值溯源基准，制约半导体、高端机床、航空航天等产业发展。这套新装置攻克主轴误差分离、高精度圆度评定等国际难题，自研全新计算模型与误差抑制方案，把圆度测量不确定度从20nm压缩至6nm，核心技术实现自主可控，打破海外长期垄断。

该设备补齐国家几何量计量体系短板，可为半导体芯片、精密光学元件、高端主轴制造提供高精度量值溯源支撑，夯实制造强国、质量强国计量基础。

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